我市一项省高新领域重点研发计划项目顺利通过验收

日前，由安徽聚芯智造科技股份有限公司牵头承担的省高新领域重点研发计划项目“金刚石功能材料及高端合成装备技术的研发”，顺利通过省科技厅组织的专家验收。

项目开发了智能化MPCVD单晶金刚石合成设备，通过优化主辅气体比例，实现同质外延合成系列化单晶金刚石样品。同时，通过分析掺杂元素对金刚石半导体特性的影响，完成了p型和n型掺杂元素的优选，最终开发出高性能MPCVD单晶金刚石产品，攻克了高纯度、低缺陷密度、精确元素掺杂及设备稳定性等关键技术难题。

项目申请专利7项，其中发明专利5项；授权实用新型专利2项，软件著作权7项，制定企业标准1项，形成“TDN 高分子复合板”新产品 1 项。（高新科供稿）